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Electron dynamics of low-pressure deposition plasma

  • Hirotsugu Yasuda , Loic Ledernez , Fethi Olcaytug und Gerald Urban
Veröffentlicht/Copyright: 1. Januar 2009

Published Online: 2009-01-01
Published in Print: 2008-01-01

© 2013 Walter de Gruyter GmbH, Berlin/Boston

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