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Non-contact micro mass evaluation method using an X-ray microscope

  • J. Kim , G. M. Sun , H. N. Baek , S. M. T. Hoang and S. A. Park
Published/Copyright: June 14, 2017
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Abstract

For the mass inspection of attached foils such as printed electrodes, mass should be measured by a non-contact method with the capacity to measure a small mass of micrograms. In this study, the masses of 1 mg to 10 mg electrodes were evaluated using an X-ray microscope. The results were compared with the masses determined by using a digital scale with a 0.005 mg error. The average of the relative error between the mass measurements using the X-ray microscope and those using the digital scale was less than 2.51%. The results show that X-ray mass evaluation method can be used for mass measurement of micro objects by replacing a digital scale.

Kurzfassung

Für die Massenüberprüfung von aufbrachten Folien wie z.B. gedruckten Elektroden, sollte die Masse mittels einer kontaktlosen Methode, die auch sehr geringe Massen im Mikrogramm-Bereich messen kann, bestimmt werden. In dieser Studie wurden die Massen von 1 mg bis 10 mg Elektroden bestimmt mit Hilfe eines Röntgenmikroskops. Die Ergebnisse wurden verglichen mit den Massen, die mit Hilfe einer Digitalwaage mit einem Fehler von 0.005 mg gemessen wurden. Im Durchschnitt lag der relative Fehler zwischen den Massenbestimmungen mit Hilfe des Röntgenmikroskops und denen mit Hilfe einer Digitalwaage bei weniger als 2.51%. Die Ergebnisse zeigen, dass die Massenbestimmung von Mikroobjekten mit Hilfe von Röntgenstrahlen eine Digitalwaage ersetzen können.


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Received: 2016-08-03
Published Online: 2017-06-14
Published in Print: 2017-07-26

© 2017, Carl Hanser Verlag, München

Downloaded on 11.12.2025 from https://www.degruyterbrill.com/document/doi/10.3139/124.110661/pdf
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