Moiré-basiertes Positionserfassungssystem für Mikroroboter (Moiré-based Positioning System for Small Micromanipulation Units)
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Ramon Estaña
Abstract
Im Bereich der autonomen Mikroroboter muss über ein Positionsbestimmungsverfahren deren jeweiliger Standort μm-genau erfasst werden. Hierzu wurde am Institut für Prozessrechentechnik, Automation und Robotik (IPR) der Universität Karlsruhe (TH) ein zweistufig arbeitendes, optisches Verfahren entwickelt: Durch die Kombination von fotogrammetrischen und interferometrischen moirébasierten Methoden gelingt dabei eine kontinuierlich ablaufende Positionsauflösung von 5 μm bei einer Wiederholgenauigkeit von 0,1 μm.
Abstract
For all free moving micro manipulation units like micro robots, a positioning system is needed for the robot control. At the University of Karlsruhe, a micro position sensing system (MPS) has been developed. Working non-tactile, its measurement principle works both with: photogrammetry and interferometry by using a partly virtual Moiré-method. The result of the interferometric calculation provides a very high resolution of 5 μm with a measurement error of 0.1μm.
© 2004 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH
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