Kontur-, Rauheits- und Kraftmesstechnik mit Silizium-Cantileversonden (Shape, Roughness and Force Metrology using Silicon Cantilever Sensors)
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Erwin Peiner
Es werden piezoresistive Cantileversonden beschrieben, die für die Kontur- und Rauheitsbestimmung an mikroskopischen Bauteilen mit hohem Aspektverhältnis konzipiert sind. Sie sind weiterhin als transferierbare Krafteinstellnormale im Bereich von Nano- bis Millinewton einsetzbar. Als ein Beispiel für dimensionelle Messungen werden Rillen- und Rauheitsnormale sowie Eindrücke von Prüfkörpern zur Härtebestimmung charakterisiert. Der Einsatz von transferierbaren Krafteinstellnormalen zur Weitergabe geringer Kräfte wird vorgestellt. Messergebnisse an handelsüblichen Tastschnittgeräten sowie die Messung von Mikronewton-Kräften an lebenden einzelnen Herzmuskelzellen werden gezeigt.
Piezoresistive cantilever probes were designed for shape and roughness measurements with high-aspect-ratio micro components and as transferable force standards in the nano-to-milli Newton range. As an example for dimensional metrology calibrated groove and roughness artefacts as well as indentation grooves for hardness measurement are characterized. The use of cantilever transfer standards for the calibration of low forces is presented at commercial stylus instruments as well as micro tools for the measurement of forces at isolated living cardiomyocytes.
© Oldenbourg Wissenschaftsverlag
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