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Mikromechanische Ultraschallwandler für Flüssigkeiten und Gase
-
Kurt Niederer
Veröffentlicht/Copyright:
1. Mai 1999
Online erschienen: 1999-05
Erschienen im Druck: 1999-05
© 2013 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH, Rosenheimer Str. 145, 81671 München
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Artikel in diesem Heft
- INHALT
- IMPRESSUM
- EDITORIAL: Mikrosensoren und Mikrosysteme Anwendungsinnovation durch Technologieinnovation
- Miniaturisierter Abstandssensor, hergestellt nach dem LIGA-Verfahren
- AUFSÄTZE / PAPERS
- Taktiler Dreikomponenten-Kraftsensor
- Mikrosystem zur automatisierten Werkzeugüberwachung in Drehmaschinen über die Erfassung von Vibration, Kraft und Temperatur
- Optimierung von Mikrospulen zur Versorgung autarker telemetrischer Mikrosysteme
- Bioanalytische Mikrosysteme für die klinische Chemie
- Mikromechanische Ultraschallwandler für Flüssigkeiten und Gase
- RUBRIKEN / COLUMNS
- VERANSTALTUNGSKALENDER / EVENTS CALENDAR
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- INHALT
- IMPRESSUM
- EDITORIAL: Mikrosensoren und Mikrosysteme Anwendungsinnovation durch Technologieinnovation
- Miniaturisierter Abstandssensor, hergestellt nach dem LIGA-Verfahren
- AUFSÄTZE / PAPERS
- Taktiler Dreikomponenten-Kraftsensor
- Mikrosystem zur automatisierten Werkzeugüberwachung in Drehmaschinen über die Erfassung von Vibration, Kraft und Temperatur
- Optimierung von Mikrospulen zur Versorgung autarker telemetrischer Mikrosysteme
- Bioanalytische Mikrosysteme für die klinische Chemie
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