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Rückführbare Präzisions-Tiefen-Einstellnormale für Meßbereiche von 1 μm bis 1 mm Traceable and Precise Depth Setting Standards for Measurement Ranges from 1 μm to 1 mm

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Veröffentlicht/Copyright: 1. Dezember 1999
tm - Technisches Messen
Aus der Zeitschrift tm - Technisches Messen Band 66 Heft 12

Online erschienen: 1999-12
Erschienen im Druck: 1999-12

© 2013 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH, Rosenheimer Str. 145, 81671 München

Artikel in diesem Heft

  1. Titelei
  2. IMPRESSUM
  3. EDITORIAL: Mikrosystemmesstechnik Microsystems Metrology
  4. Aufsätze / Papers
  5. Anwendung der Mikrotechnologie in der Messtechnik Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Precision Engineering
  6. Opto-taktiler Sensor zur 2D- und 3D-Messung kleiner Strukturen mit Koordinatenmeßgeräten Opto-tactile Sensor for 2D- and 3D Measurement of Small Structures on Coordinate- Measuring Machines
  7. Miniaturisierter 3D-Tastsensor für die Metrologie an Mikrostrukturen
  8. Rückführbare Präzisions-Tiefen-Einstellnormale für Meßbereiche von 1 μm bis 1 mm Traceable and Precise Depth Setting Standards for Measurement Ranges from 1 μm to 1 mm
  9. Entwicklung eines 3D-laserinterferometrischen Nanomesssystems für den Abbéfehlerfreien Einbau in Rasterkraftmikroskope
  10. Rasterkraftmikroskopische Messungen an Eindringkörpern Measurement of Indenters with a Scanning Force Microscope
  11. Rubriken / Columns
  12. VERANSTALTUNGSKALENDER / EVENTS CALENDAR
https://doi.org/10.1524/teme.1999.66.12.496

Artikel in diesem Heft

  1. Titelei
  2. IMPRESSUM
  3. EDITORIAL: Mikrosystemmesstechnik Microsystems Metrology
  4. Aufsätze / Papers
  5. Anwendung der Mikrotechnologie in der Messtechnik Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Precision Engineering
  6. Opto-taktiler Sensor zur 2D- und 3D-Messung kleiner Strukturen mit Koordinatenmeßgeräten Opto-tactile Sensor for 2D- and 3D Measurement of Small Structures on Coordinate- Measuring Machines
  7. Miniaturisierter 3D-Tastsensor für die Metrologie an Mikrostrukturen
  8. Rückführbare Präzisions-Tiefen-Einstellnormale für Meßbereiche von 1 μm bis 1 mm Traceable and Precise Depth Setting Standards for Measurement Ranges from 1 μm to 1 mm
  9. Entwicklung eines 3D-laserinterferometrischen Nanomesssystems für den Abbéfehlerfreien Einbau in Rasterkraftmikroskope
  10. Rasterkraftmikroskopische Messungen an Eindringkörpern Measurement of Indenters with a Scanning Force Microscope
  11. Rubriken / Columns
  12. VERANSTALTUNGSKALENDER / EVENTS CALENDAR
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