TY  - JOUR
UR  - https://doi.org/10.1524/teme.1986.53.jg.407
TI  - Analyse dünner Schichten mittels Massenspektrometrie zerstäubter Neutralteilchen / Thin film analysis by sputtered neutral mass spectrometry
T3  - tm - Technisches Messen
AU  - Jede, R.
AU  - Peters, Η.
AU  - Dünnebier, G.
AU  - Kaiser, U.
AU  - Meier, S.
AU  - Ganschow, Ο.
PY  - 1986
DO  - doi:10.1524/teme.1986.53.jg.407
VL  - 53
IS  - JG
SP  - 407
EP  - 413
Y2  - 2026-05-04
ER  -