Aufbau zur flächigen reflektrometrischen Schichtdickenbestimmung von lateral bewegten Schichtsystemen
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Anton J. Tremmel
Anton Tremmel ist wissenschaftlicher Mitarbeiter am Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik der Fakultät für Elektro- und Informationstechnik an der Technischen Universität München. Sein Schwerpunkt der Forschung liegt im Bereich der hyperspektralen Dünnschichtmesstechnik.
Technische Unversität München, Institut für Messsystem und Sensortechnik, Theresienstraße 90/N5, 80333 München
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Markus S. Rauscher
Markus Rauscher ist wissenschaftlicher Mitarbeiter am Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik der Fakultät für Elektro- und Informationstechnik an der Technischen Universität München. Sein Schwerpunkt der Forschung liegt im Bereich des Condition Monitorings von Schmiermitteln.
Technische Unversität München, Institut für Messsystem und Sensortechnik, Theresienstraße 90/N5, 80333 München
Patrik Murr ist wissenschaftlicher Mitarbeiter am Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik der Fakultät für Elektro- und Informationstechnik an der Technischen Universität München. Sein Schwerpunkt der Forschung liegt im Bereich der fluoreszenzbasierten Qualitätsüberwachung.
Technische Unversität München, Institut für Messsystem und Sensortechnik, Theresienstraße 90/N5, 80333 München
Michael Schardt ist wissenschaftlicher Mitarbeiter am Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik der Fakultät für Elektro- und Informationstechnik an der Technischen Universität München. Sein Schwerpunkt der Forschung liegt im Bereich der FTIR-Spektroskopie.
Technische Unversität München, Institut für Messsystem und Sensortechnik, Theresienstraße 90/N5, 80333 München
Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. Alexander W. Koch leitet den Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik der Fakultät für Elektro- und Informationstechnik an der Technischen Universität München. Ein Schwerpunkt der Forschung liegt im Bereich der optomechatronischen Messsysteme.
Technische Unversität München, Institut für Messsystem und Sensortechnik, Theresienstraße 90/N5, 80333 München
Zusammenfassung
Zur flächigen Schichtdickenbestimmung von lateral bewegten Schichtsystemen wurde erstmals ein Messsystem basierend auf dem reflektometrischen Messprinzip in Kombination mit einem Hyperspektralimager entwickelt. Eine Vorsatzoptik mit integriertem Auflichtpfad formt eine Messlinie, deren Reflexion am Messobjekt auf den Eingangsspalt des Hyperspektralimagers abgebildet wird. Aus den spektralen Daten der Reflektanz wird die Schichthöhe jedes örtlich auflösbaren Pixels des zu untersuchenden Objekts rekonstruiert. Bewegt sich das Messobjekt lateral linear gleichförmig, ergeben zusammengesetzte Messlinien eine Messfläche.
Abstract
For in-line two-dimensional film thickness determination of moving layers, a measurement system based on the reflectometry principle in combination with a hyperspectral imager has been developed for the first time. An optical head with integrated incident light source forms a measurement line. Reflection of the measurement object is displayed on the entrance slit of the hyperspectral imager. From the spectral reflectance data of each locally resolvable pixel of the examined object the layer height is reconstructed. If the measurement object is moving laterally uniformly, combined measurement lines are resulting in a two-dimensional measuring surface.
Über die Autoren
Anton Tremmel ist wissenschaftlicher Mitarbeiter am Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik der Fakultät für Elektro- und Informationstechnik an der Technischen Universität München. Sein Schwerpunkt der Forschung liegt im Bereich der hyperspektralen Dünnschichtmesstechnik.
Technische Unversität München, Institut für Messsystem und Sensortechnik, Theresienstraße 90/N5, 80333 München
Markus Rauscher ist wissenschaftlicher Mitarbeiter am Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik der Fakultät für Elektro- und Informationstechnik an der Technischen Universität München. Sein Schwerpunkt der Forschung liegt im Bereich des Condition Monitorings von Schmiermitteln.
Technische Unversität München, Institut für Messsystem und Sensortechnik, Theresienstraße 90/N5, 80333 München
Patrik Murr ist wissenschaftlicher Mitarbeiter am Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik der Fakultät für Elektro- und Informationstechnik an der Technischen Universität München. Sein Schwerpunkt der Forschung liegt im Bereich der fluoreszenzbasierten Qualitätsüberwachung.
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Technische Unversität München, Institut für Messsystem und Sensortechnik, Theresienstraße 90/N5, 80333 München
Danksagung
Diese Arbeit entstand im Rahmen des durch die DFG geförderten Projektes: „Hyperspektrales chromatisches Reflektometer zur Vermessung bewegter Objekte“ KO 2111/9-1.
©2016 Walter de Gruyter Berlin/Boston
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