Thermopile-IR-Arrays mit höchstem Auflösungsvermögen
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Frank Herrmann
Frank Herrmann ist Projektleiter für Mikromechanische Systeme (MEMS). Hauptarbeitsgebiete: Entwicklung und Fertigung mikromechanischer Bauteile auf Waferlevel.
Maria-Reiche-Straße 1, 01109 Dresden, Tel.: +49 3518888850
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Bodo Forg
Bodo Forg ist Projektleiter für Thermopile-Arrays. Hauptarbeitsgebiete: Entwicklung von Arraysensoren und -modulen.
Rohrbergstraße 7, 65343 Eltville am Rhein
Jörg Schieferdecker ist Geschäftsführer der Heimann Sensor GmbH. Hauptarbeitsgebiete: Thermopilesensoren, Thermopilemodule, Thermopilearrays.
Maria-Reiche-Straße 1, 01109 Dresden
Wilhelm Leneke ist Projektleiter für Einelement-Thermopilesensoren. Hauptarbeitsgebiet: Entwicklung und Produktion von Thermopilesensoren.
Maria-Reiche-Straße 1, 01109 Dresden
Marion Simon ist Projektleiterin für Thermopilesensoren. Hauptarbeitsgebiet: Entwicklung von Einelement-Thermopilesensoren.
Rohrbergstraße 7, 65343 Eltville am Rhein
Zusammenfassung
Thermopile-Sensor-Arrays sind eine kostengünstige Alternative für die Aufnahme von Wärmebildern mit geringeren Anforderungen an die räumliche Auflösung. Durch Einführung neuer Herstellungstechnologien, insbesondere einer modifizierten monolithischen CMOS-Technologie mit geringen Strukturgrößen und strukturgenauer Oberflächenmikromechanik, ist es möglich geworden, Thermopilearrays mit Auflösungen von derzeit bis zu 3968 Bildpunkten herzustellen. Neuartige Verpackungstechnologien mit Gasen geringer Wärmeleitfähigkeit führen zu erhöhten Sensitivitätswerten von 400 V/W. Mit der Einführung von Vakuumgehäusen konnten sogar Sensitivitätswerte von 800 V/W gemessen werden.
Abstract
Thermopile sensor arrays are a low-cost option for taking thermal images with lower requirements for spatial resolution. A modified monolithic CMOS technology with smaller pattern size and surface micromachining with better structural precision makes thermopile arrays possible with a resolution of up to 3968 pixels so far. New packaging technologies using gases with low heat conduction lead to high values of sensitivity of 400 V/W. Measurements of sensors packaged in vacuum housings show even higher values of 800 V/W.
Über die Autoren
Frank Herrmann ist Projektleiter für Mikromechanische Systeme (MEMS). Hauptarbeitsgebiete: Entwicklung und Fertigung mikromechanischer Bauteile auf Waferlevel.
Maria-Reiche-Straße 1, 01109 Dresden, Tel.: +49 3518888850
Bodo Forg ist Projektleiter für Thermopile-Arrays. Hauptarbeitsgebiete: Entwicklung von Arraysensoren und -modulen.
Rohrbergstraße 7, 65343 Eltville am Rhein
Jörg Schieferdecker ist Geschäftsführer der Heimann Sensor GmbH. Hauptarbeitsgebiete: Thermopilesensoren, Thermopilemodule, Thermopilearrays.
Maria-Reiche-Straße 1, 01109 Dresden
Wilhelm Leneke ist Projektleiter für Einelement-Thermopilesensoren. Hauptarbeitsgebiet: Entwicklung und Produktion von Thermopilesensoren.
Maria-Reiche-Straße 1, 01109 Dresden
Marion Simon ist Projektleiterin für Thermopilesensoren. Hauptarbeitsgebiet: Entwicklung von Einelement-Thermopilesensoren.
Rohrbergstraße 7, 65343 Eltville am Rhein
©2014 Walter de Gruyter Berlin/Boston
Articles in the same Issue
- Frontmatter
- Editorial
- Zum Gedenken an Professor Ludwig Walther, Begründer der Dresdner Infrarotmesstechnik-Schule
- Beiträge
- Pyroelektrische Infrarotsensoren mit hoher Detektivität
- Wärmebildtechnik als moderne Form der Pyrometrie
- Thermopile-IR-Arrays mit höchstem Auflösungsvermögen
- Application of PIMNT single crystals for long-range and wide FOV IR flame detection
- Absorptionsschichten für thermische Infrarotsensoren
- Echtzeitspektroskopie von Ferninfrarotstrahlung zur Strahldiagnose an Linearbeschleunigern
- Veranstaltungskalender
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- Veranstaltungskalender
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