Home The Influence of the Ion Bombardment Conditions on the Oxidation Behavior of Sputtered TiN Coatings / Der Einfluss der Bedingungen beim lonenbeschuss auf das Oxidationsverhalten von gesputterten TiN-Schichten
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The Influence of the Ion Bombardment Conditions on the Oxidation Behavior of Sputtered TiN Coatings / Der Einfluss der Bedingungen beim lonenbeschuss auf das Oxidationsverhalten von gesputterten TiN-Schichten

  • Fatih Ustel , Paul Mayrhofer and Christian Mitterer
Published/Copyright: May 27, 2021
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Online erschienen: 2021-05-27
Erschienen im Druck: 2002-11-01

© 2021 by Walter de Gruyter Berlin/Boston

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